报告时间：2024年6月22日
报告地点：国家重点实验室大楼315
报告人：巫春生 硕士在读
报告人简介：
巫春生，就读于中北大学仪器与电子学院，指导教师为崔丹凤，培养单位为省部共建动态测试技术国家重点实验室，主要研究方向为MEMS超声换能器、MEMS压电器件等。
本课题组设计了一种基于ScAlN的双压电层高频压电超声换能器，钪的掺杂改善了氮化铝薄膜的压电性能，从而提高了薄膜的声学和电学性能。传感单元采用双晶片结构，通过中间差动电极的内外部传输，增强了机电耦合和传输性能。通过优化传感单元的电极尺寸比及电极结构，进一步提高了传感器的接收灵敏度。所述MEMS压电超声换能器在空气中的机电耦合系数为2.7%，在水中7.92 MHz频率下，基于PMUT的收发器具有良好收发性能，发射灵敏度为1.83 MPa/V和接收灵敏度为0.307 mV/kPa。
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