报告时间：2024年3月 23 日10：00
报告地点：科研楼402会议室
报告人：韩树棋
报告人简介：
韩树棋，研三，中北大学仪器与电子学院，研究方向为：微弱信号传感机制研究。
基于微纳电子学异质结调控原理，设计了一种石墨烯/PZT异质结微压力传感器。该传感器将CVD石墨烯通过湿法转移到PZT薄膜上形成石墨烯/PZT异质结。然后将异质结通过MEMS工艺转移到制备好空腔和电极的硅基底上。当异质结受到外部压力时异质结由于产生的极化电势会对石墨烯的载流子输运率形成调制，最终表现为传感器电阻的变化。该传感器的灵敏度为0.01 kPa-1，最快响应时间为0.06s，最大噪波为61.9dB，低压检测限为0.098kpa。该传感器适用于运动检测、呼吸健康筛查、生命体征检测等领域。
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