报告时间:2024年3月 16 日10:00
报告地点:科研楼402会议室
报告人:刘建军
报告人简介:
刘建军,研三,中北大学仪器与电子学院,研究方向为:MEMS智能微纳器件与系统集成。
本研究基于法拉第电磁感应定律,设计了一种将倾斜磁柱阵列与MEMS线圈组装在一起的新型电磁触觉传感器。该传感器采用MEMS技术制备了柔性双层高密度线圈。线圈(1cm×1cm)匝数为100,线宽和匝距均为40μm。采用模板法制备倾斜磁柱阵列,并沿轴向磁化。当对倾斜磁柱阵列施加拉力或压力时,磁通量相应减小或增大,从而使传感器能够准确地区分刺激并产生不同的信号(-/+或+/-)。该传感器的灵敏度高达21.7 μV kPa-1 (0.05-2 kPa),最小磁场检测限为10 mT,低压检测限为5 g,重复性好(5000次循环)。此外,该传感器还应用于莫斯电码、机器人触觉测试、物体载荷识别和非接触式磁场监测。它在物联网和信息通信领域具有潜在的应用前景。