报告时间：2023年3月25日10：00
报告地点：科研楼402会议室
报告人：段潇雅 硕士在读
报告人简介：
段潇雅，就读于中北大学仪器与电子学院，指导教师为崔丹凤老师，培养单位为省部共建动态测试技术国家重点实验室，主要研究方向为MEMS压电器件，MEMS超声换能器等。
压电智能传感器是 5G/6G 无线通讯、物联网的重要核心无源器件。硅基 MEMS 压电薄膜及器件是目前具有庞大市场的超声换能器的重要支撑，因其较高的设计要求与微纳制造技术门槛而被欧美视为战略机密技术，成为大国博弈的“锁喉技”。采用MEMS硅基工艺制备的 AlN压电薄膜超声换能器作为目前国际相关领域的研究重点和热点，是高端精密超声声学检测仪器的核心器件，可以广泛应用在医疗卫生、国防军事、智能制造和智慧生活等领域，具有较大的发展潜力。但目前在国内的相关研究尚少，其核心关键技术仍存在国外技术垄断的问题。故研究基于 AlN压电材料的 MEMS 压电薄膜超声换能器可为打破国外相关技术垄断做技术储备，可为小型超声无损检测仪和小型超声医疗仪器设备等重大装备提供核心关键技术，同时为军事中的水下声学探测和智能互联中语音识别等领域的声压传感器应用提供共性技术支撑，可促进高精度声学检测设备技术的发展，具有重要学术意义与应用价值。本课题组瞄准物联网及可穿戴设备等市场新兴应用领域对压电超声换能器提出的高灵敏度、小型化及阵列化等迫切需求，围绕基于AlN 压电超声换能器结构设计、工艺制备及封装测试，探索研制高性能压电超声换能器的有效技术途径。
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