学术报告：高能束加工及电子器件应用
报告时间：2022年9月17日10：00
报告地点：科研楼402会议室
报告人：毕开西 博士
报告人简介：毕开西，博士，副教授，毕业于湖南大学，任教于中北大学半导体与物理学院，致力于高能束特种工艺、低维物理与器件、微纳光电器件等领域的基础科学问题和关键技术研究。作为项目负责人或课题负责人主持国家自然科学青年基金、山西省重大专项子课题、山西省自然科学基金面上项目、军科委创新特区项目等6项，目前已在ACS Nano、Science China Materials、Nanoscale等期刊发表SCI论文20余篇，以第一作者发表SCI论文6篇。
纳米尺度高分辨功能性结构在微电子器件、等离激元光学、生物传感等领域具有重要的应用价值。但如何高效、可靠地加工出更高精度的功能结构一直都是科研人员所关注的问题。常规加工手段包括三个步骤：（1）通过高能电子束曝光对抗蚀剂进行微纳结构制备；（2）在样品表面沉积功能材料；（3）通过剥离或者刻蚀工艺将抗蚀剂结构转移到功能材料上。该加工方法可作为成熟稳定制备工艺满足实验室级器件研发的大部分使用需求，但存在工艺繁琐、图形分辨率缺失、杂质引入等缺点。本次报告提出电子束直写加工方式，实现功能结构一次成型原位制造，并展示了其在短沟道器件、光电探测器、拉曼生物传感检测等方面的应用前景，促进了后摩尔时代新型加工技术的研发推广。
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