学术报告：蜂窝状压电式微机械超声波换能器设计及其应用研究
报告时间：2022年6月25日10：00
报告地点：科研楼402会议室
报告人：贾利成 博士
基于MEMS技术设计的压电式微机械超声波换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）具有结构紧凑、与主流系统级封装 （System-in-package, SiP）技术兼容、体积小、易实现二维阵列、易与水、空气实现阻抗匹配等优点，已成为超声波换能器领域的重点研究对象和关注焦点。PMUT主要依靠压电材料的逆压电效应和压电效应来实现声能、机械能和电能的相互转换。因此，根据PMUT的能量转化形式可以实现不同领域的高性能应用开发。针对早期心肺疾病筛查不足的问题和高性能水听器的迫切需求，本报告主要是针对基于蜂窝状PMUT阵列的电子听诊器样机开发和水听器系统设计。
主要包括：
（1）蜂窝状PMUT的结构特性分析；
（2）针对电子听诊器和水听器的应用需求，结合透声封装理论模型，围绕蜂窝状PMUT阵列封装的透声、无毒和防腐蚀等要求进行封装技术研究；
（3）针对基于蜂窝状PMUT阵列的应用进行研究。
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